新材料(liào)在線^®

《大國之(zhī)材》原創文章(zhang)，轉載請聯系(xì)微信：EILIG2014

新材料(liào)在線 ID：xincailiaozaixian

圖片：受(shou)訪人提供、圖(tú)蟲創意

早在(zài)1842年，科學家格(ge)波夫就在實(shí)驗室中發現(xian)了陰極🔱濺射(she)🤩現象，但由于(yu)人們對濺射(shè)技術缺乏深(shen)入了解，商業(ye)化的磁控濺(jiàn)射設備直到(dao)1970年才逐漸應(yīng)用于實驗室(shi)和小型生🈲産(chǎn)。

20世紀80年代以(yi)後，随着以集(ji)成電路、信息(xi)存儲、液晶顯(xian)示器、光存儲(chu)器、電子控制(zhì)器為主的電(diàn)子與信息産(chan)業開始進入(rù)高速發展時(shí)期，磁控濺射(she)技術才從實(shi)驗室應用真(zhen)正進入工業(ye)化規模生産(chǎn)應用領域。

然(rán)而，直到21世紀(jì)初，中國的靶(ba)材仍高度依(yi)賴進口，國内(nei)竟無一家企(qǐ)業能夠提供(gong)高純金屬靶(ba)材，市場被日(rì)立金屬、TDK等海(hǎi)外企業完全(quán)壟斷。

彼時，剛(gang)剛經曆轉企(qi)改制的有研(yán)集團正在尋(xun)找産業⛱️化落(luo)地的項目，經(jīng)過一年多時(shi)間的調研，有(you)研團隊将目(mu)标對準💰了高(gāo)純金屬靶材(cai)。

據全程參與(yǔ)研發的現任(ren)有研新材總(zong)經理王興權(quan)回憶，當時業(ye)内對有研的(de)選擇反響并(bing)不積極，很多(duo)人💛根本❗不相(xiàng)信中國人還(hai)能生産半導(dǎo)體、集成電路(lù)用靶材。

2005年，剛(gang)剛進入靶材(cai)領域的有研(yán)團隊對靶材(cai)技術的認識(shí)如🤩同㊙️一張白(bai)紙，全憑信念(nian)支撐。

三年以(yi)後，有研的靶(bǎ)材進入市場(chang)，并獲得客戶(hu)的基本認可(ke)，産品開始走(zǒu)向正軌。

2012年，有(yǒu)研成為批進(jin)入國家重大(dà)專項的企業(yè)，參與了02專項(xiàng)（集🐉成電路）後(hòu)期的所有項(xiang)目。在項目的(de)助力下💁，憑借(jiè)♌對金屬材料(liào)的深刻理解(jie)和材料學的(de)長期積累，有(you)研成功突破(pò)了集成電路(lù)靶材從材料(liào)到制品🌂的全(quan)套技術，讓國(guo)産高純金屬(shu)🏃‍♀️靶材達到👨‍❤️‍👨了(le)國際先進水(shui)平，并擁有全(quán)部自主㊙️知識(shi)産權。

用王興(xing)權的話說：“現(xiàn)在的有研可(ke)以跟國際上(shàng)任何微電子(zi)材料大公司(si)平等的✉️進行(háng)市場對話和(he)技術對話。”

01

打(dǎ)破國外靶材(cái)主導地位指(zhi)日可待

《大國(guo)之材》：您覺得(dé)我們國内的(de)高純金屬靶(bǎ)材目前的發(fā)展水平處于(yú)什麼樣的位(wèi)置？我們存在(zai)哪些發展痛(tong)點？

王興權：我(wo)個人認為在(zai)微電子靶材(cai)這塊，中國應(ying)該屬于第二(er)梯隊💰，梯隊仍(reng)然是日本的(de)GX公司和美國(guó)的霍尼爾⭐等(deng)公司。在過去(qù)十幾年裡，中(zhong)國的微電子(zǐ)靶材從零🚶開(kāi)始，能🔴發展到(dao)目前的水平(píng)，應該說成果(guo)是非常顯著(zhe)的。

當前的行(hang)業痛點問題(ti)已經不明顯(xiǎn)了，國内的微(wei)電子靶材基(jī)本已經與國(guó)際領先企業(ye)處于同一競(jing)争水平。原來(lai)🐇談到痛點，可(kě)以說渾身都(dou)是痛，關鍵指(zhǐ)标不清、核心(xīn)技術不通、市(shì)場認可✨度低(di)、人才隊伍缺(que)乏、原材料受(shòu)制于人等等(děng)，都是我們曾(céng)經經曆的痛(tong)點。

但是國内(nei)的微電子靶(bǎ)材發展到今(jīn)天，原來的錐(zhui)心之痛⭐已經(jing)不存在了。但(dàn)是，我們畢竟(jìng)處于第二梯(tī)隊，更全面的(de)描述當前國(guó)内微電子靶(bǎ)材的發展水(shuǐ)平，我認為是(shi)多數👌跟從，部(bù)分平起，個别(bie)超越。

《大國之(zhi)材》：有研新材(cái)近幾年高純(chun)金屬靶材的(de)市場營收增(zēng)顯著，您分析(xi)主要是哪些(xiē)原因？

王興權(quan)：我覺得高純(chun)金屬靶材的(de)業績增長主(zhu)要取決于三(san)個因📞素。首先(xiān)是大勢，在過(guo)去的20年裡邊(bian)，中國的集成(chéng)⚽電子領域是(shi)一個穩步增(zēng)長的發展階(jie)段，中芯國際(jì)等優勢企業(yè)像雨後春筍(sun)般湧現出來(lái)。

全球的微電(dian)子領域，年平(ping)均的發展速(su)度大約為4%到(dao)✊5%，但是在過去(qu)🐪的20年内，中國(guó)微電子領域(yu)一直都保持(chi)在13%到14%的發展(zhan)水平。沒有微(wei)電子領域的(de)快速發展，就(jiu)不可能有相(xiàng)關的領域裝(zhuāng)備和👣材料的(de)進步。

其次，有(yǒu)研科技集團(tuan)（原有色金屬(shǔ)研究總院）主(zhu)要從事⭐有色(se)金屬領域的(de)共性技術開(kai)發，經過六十(shí)多年的積澱(dian)，我們擁有大(da)量金⭐屬材料(liao)制備和加工(gōng)技術，對金屬(shǔ)⭐材料的理解(jie)非常透徹💚。這(zhè)些積💯累為我(wǒ)們在🌈微電子(zi)材料領域的(de)技術開發和(he)提升提供了(le)巨大🔆支撐。

當(dang)然，關鍵的一(yī)點，是有研人(rén)的努力和堅(jiān)持，是一種産(chan)業情懷或者(zhe)說國家情懷(huái)，一種我們中(zhong)國人必須做(zuo)得出、做得好(hǎo)的勁頭。

在我(wǒ)們剛剛進入(rù)這個領域的(de)時候，範圍内(nèi)沒有人做微(wēi)💚電子靶材，甚(shèn)至做集成電(diàn)路相關材料(liao)的企業都非(fēi)常少，那時候(hou)靶材被🍓霍尼(ní)韋爾、東曹、威(wei)廉姆斯、優美(mei)科、日礦等國(guo)外企業壟斷(duan)，中國當時也(yě)有幾家公司(si)和科研機構(gòu)想進入這個(gè)領域，但受制(zhì)于技術🏃‍♀️門檻(kan)和市場門檻(kǎn)，有些單💋位進(jin)來又退💁出了(le)，有些單♋位發(fā)展止步不前(qian)，國産靶材行(háng)業發展起起(qi)伏伏。在這中(zhōng)間，有研新材(cai)得益于長期(qi)的堅持和持(chi)續投入。

當然(rán)，國家的重視(shì)和支持為我(wǒ)們的發展提(ti)供了強大支(zhī)撐。

《大國之材(cái)》：2018年靶材市場(chǎng)規模的增速(su)達到30%，在半導(dao)體方面，增速(su)達到60%。随着5G應(ying)✂️用趨勢的到(dao)來，微電子靶(ba)材的格局會(huì)發生哪些📧變(biàn)化？

王興權：我(wo)認為打破國(guó)外企業占主(zhu)體的局面，指(zhi)日可待。現在(zai)國内的靶材(cai)企業在國際(ji)範圍内競争(zhēng)，從技術到管(guǎn)理再到市場(chang)占有率，已經(jīng)沒有明顯的(de)劣勢，尤其是(shì)在國内市場(chǎng)方面，這幾年(nian)全球集成電(dian)路的産業布(bu)局向中國大(da)陸在轉移。從(cóng)區域發展來(lái)看，中國大陸(lu)的發展速度(du)會遠遠高于(yú)歐美、東南亞(ya)、日本、中國台(tái)灣等其他地(di)區。在市場交(jiao)互和本地化(hua)服務方面，國(guó)内企業具備(bei)獨特的地緣(yuán)優勢。

但值得(de)注意的是，從(cóng)新品開發的(de)角度來看，目(mu)前絕大多🛀🏻數(shù)新産品仍出(chū)自國外企業(ye)，尤其是日本(běn)的JX公司，占有(you)靶🔞材新品約(yue)60%的份⛱️額，一直(zhí)保持着技術(shu)原發🥰性優勢(shi)，在未來市場(chǎng)中自然也會(hui)居于💜主導地(di)位，因此我們(men)在一段時間(jiān)内可能還👈是(shì)跟從的💞狀态(tai)。

但新技術的(de)引入，尤其是(shì)5G技術的普及(jí)将是一個非(fei)常好的契機(ji)。随着集成電(diàn)路的線寬越(yue)來越窄，對材(cai)料提出了更(geng)高的需求，原(yuán)來的材料組(zu)分、純度、組織(zhī)🥰結構已不足(zu)以📱支撐集成(cheng)電路技術指(zhi)标的躍升。有(you)🈲研新材對材(cái)料的理解是(shi)非常深的，對(dui)材料元素的(de)控制、材料行(háng)為控制和組(zu)🚶織結構控制(zhì)是我們的強(qiang)項。這就給了(le)我們一次突(tu)破老産品的(de)固定格局，大(dà)家站在同👈一(yī)起跑線上的(de)機會。在新産(chan)品框架下，我(wo)們的材料技(jì)術優勢将發(fā)揮得更淋漓(lí)‼️盡緻。

另外，随(suí)着電子信息(xi)技術的發展(zhǎn)和應用領域(yù)的拓寬，芯片(pian)的特殊功能(neng)性需求越來(lái)越高，比如未(wei)來一些芯片(piàn)制程中對材(cai)料的磁性能(neng)、熱效應、相變(biàn)反應、壓電效(xiào)應等方面提(tí)出特殊需要(yào)，很可能已超(chāo)越了♍單質材(cái)料👣的物理極(jí)限，這時就需(xū)要靠特🐅種合(he)金材料、複合(hé)材料或不同(tong)材料的複合(hé)工藝才能滿(mǎn)足性能需求(qiu)，這就涉及到(dào)材料性質與(yǔ)功能的關聯(lián)，涉及到材料(liao)的設計。這時(shi)，誰在材料技(jì)術🙇‍♀️方面積澱(dian)深厚，誰在功(gong)能材料開發(fa)方面能力強(qiang)，誰就🥵能抓住(zhu)微電子産業(yè)的發展機遇(yù)，誰♊就能成☁️為(wei)未來的領跑(pao)🌈者。

有研新材(cai)辦公樓

02

“電磁(cí)光醫”協同發(fa)展

《大國之材(cái)》：有研新材目(mu)前在新材料(liào)領域所處的(de)一個行業地(di)位如😘何？

王興(xìng)權：談到在新(xīn)材料領域的(de)行業地位，由(you)于有研新材(cai)的産業⚽覆蓋(gai)領🧡域比較廣(guǎng)，需要細分來(lai)說，總結起來(lái)我們叫“電磁(ci)光醫🍓”四大闆(pan)塊引領發展(zhǎn)。

在微電子薄(bao)膜材料領域(yù)，目前我們的(de)全球市場占(zhàn)有率大概5%，數(shù)字并不大，但(dàn)這個5%的内涵(hán)很重要，可以(yǐ)分三個維度(dù)來看。

一是從(cóng)市場維度來(lai)看，我們目前(qian)以國内客戶(hu)為主☔，國✉️内✊的(de)🐇客戶覆蓋率(lü)接近100%，也就是(shì)說國内幾乎(hu)所有微電子(zi)企業都會用(yòng)到有研新材(cái)的材料。

二是(shì)從産品覆蓋(gài)維度來看，我(wǒ)們自己内部(bu)一種說法叫(jiào)“全‼️餐”。隻要是(shi)微電子領域(yù)用的金屬薄(báo)膜材料🛀，無論(lùn)是濺❤️射靶材(cái)還是蒸發材(cai)料，所有的材(cai)料品種、所有(yǒu)的産品型号(hao)有研新材都(dōu)有。

還有一個(gè)重要的維度(du)，叫垂直一體(ti)化。這一點在(zai)全球範圍✍️内(nèi)，隻有日本的(de)JX公司和美國(guo)的霍尼韋爾(er)能夠做得到(dao)💛（這兩🌍家也沒(mei)全做到）。我們(men)不僅僅生産(chan)靶材和蒸發(fā)材料，還可以(yǐ)自己生産制(zhì)作靶材的微(wei)電子級原材(cai)料， 比如說微(wei)電子靶材用(yòng)的銅✨材，我們(men)能夠把市場(chǎng)上随處可得(de)的普通的銅(tóng)材，提純到“六(liù)個九”的電子(zi)級超高純銅(tong)。在微電子領(lǐng)域，能夠做到(dào)原材料不受(shòu)制于人，對于(yú)企業的存活(huó)和發展至關(guān)重要！

在微電(diàn)子薄膜材料(liao)領域，有研新(xin)材已經是國(guó)内行業🐇龍頭(tóu)，技術優勢、人(ren)才優勢、市場(chǎng)優勢已經形(xing)成。

在稀土領(lǐng)域，有研新材(cai)應該說是範(fan)圍内稀土技(jì)術能🔞力☎️強全(quan)面的企業。有(yǒu)研新材具備(bèi)從稀土選礦(kuang)、稀土分離，稀(xī)土金屬制備(bei)的♊全流程原(yuán)創技術。現在(zai)全✌️球範圍内(nei)70%的稀土選冶(ye)都源于我們(men)的技術。目前(qian)有研新材是(shi)全球能生産(chan)多種超高純(chún)稀土金屬的(de)企業。我們的(de)稀🛀🏻土發光材(cai)料、稀土磁性(xìng)材料技術也(ye)具備國内領(ling)先水平。

在紅(hóng)外光學材料(liao)方面，有研一(yī)直掌握着行(háng)業引領性技(ji)術，中國的根(gen)鍺單晶就出(chu)自我們之手(shou)，目前有🏃🏻研新(xin)材是國内大(da)的紅外鍺單(dān)晶和二六族(zu)晶體生産企(qi)業。

在生物醫(yi)用材料方面(miàn)，中國根牙弓(gong)絲、支食道支(zhi)架⚽、支膽道支(zhi)❗架、支前列腺(xian)支架等等，都(dōu)是由我們出(chū)品😘的。

總而言(yan)之，有研新材(cai)是一家市場(chang)導向、技術先(xiān)導型企業，在(zài)材料領域具(ju)有強大的技(jì)術創新和技(ji)術轉化能力(li)，使企業在發(fā)🈚展中始終保(bǎo)持旺盛的活(huo)力和動力，為(wei)企業提供了(le)廣闊的發展(zhan)空間。

《大國之(zhī)材》：公司對未(wei)來市場的布(bu)局，有哪些新(xīn)的舉措？

王興(xing)權：我們從現(xian)在的戰略維(wéi)度上來看，還(hai)是圍繞“電磁(cí)光醫”這🍓四個(ge)闆👈塊，這四個(gè)闆塊有不同(tóng)的定位，其資(zī)源配置方式(shi)和發展模式(shi)也不同。

電子(zǐ)薄膜材料闆(pǎn)塊是有研新(xin)材的核心業(ye)務闆塊，也是(shì)未來重點發(fā)展的産業領(lǐng)域。公司将持(chí)續加大在這(zhe)一領域的資(zi)源配置力度(du)，不斷優化産(chǎn)業布局，壯大(da)産業規模，并(bìng)終成為全球(qiú)領先的微電(diàn)子薄膜材料(liao)和相關服務(wù)的提供者。

稀(xī)土領域，我們(men)将大力推動(dong)稀土綠色清(qīng)潔選冶技術(shu)，提供行業服(fu)務，助推我國(guo)稀土産業的(de)良性發展，同(tóng)時充分發揮(hui)全産業鍊技(ji)術優勢，發展(zhan)特種磁性材(cái)料産業。

特種(zhǒng)光學材料領(lǐng)域，繼續保持(chí)行業領頭羊(yang)的位置，充分(fen)發揮核心材(cai)料優勢，适度(dù)延伸産業鍊(liàn)。

生物醫用領(ling)域，走市場化(hua)道路，引入優(you)質的資本方(fang)和資源方，使(shi)其具有高度(du)市場活力和(hé)企業活力，推(tui)動快✌️速發展(zhǎn)。